具備同軸落射光源，適用於不透光樣本的觀測，可以高放大倍率觀察樣品表面的紋理、孔洞或組織結構、成分與光學特性。可依據需求搭配偏光裝置與濾鏡組。適合觀察：晶圓、IC晶片微電路、金屬電鍍拋光表面、玻璃材料、液晶材料等。